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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
采购与招标网 ,科技文教旅游,机械电子电器 广东 2026-07-03
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广东 ,机械电子电器 招标 2026-07-03
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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
广东 ,科技文教旅游,机械电子电器 招标 2026-07-03
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概X采购政策情况 | 预算金额(X) | 预计采购时间 | 备注 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 氧化钒溅射腔 | 标的名称：氧化钒溅射腔 标的数量X 主要功能或目标：处理氧化钒层的高精度沉积与图形化，具备高均匀性、高台阶覆盖率的工艺能力。目标是实现高可靠性、低缺陷的氧化钒功能层结构，特别是满足先进半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）对氧化钒薄膜的高精度加工需求，用于高性能半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）的制造。 需满足的要求X、颗粒（>0.2μm）, 膜内 <=X ea（除正常晶圆外） 2、薄膜应力：应小于XMpa | 落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况 | 4,X,X.X | X年X月 |
本X采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
X年X月X日
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