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氧化钒溅射腔
采购与招标网 ,机械电子电器 广东 2026-07-03
| 氧化钒溅射腔 | |
| 项目所在采购意向： | 广东中科半导体微纳制造技术X采购意向 |
| 采购单位： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 |
| 采购项目名称： | 氧化钒溅射腔 |
| 预算金额： | X.XX(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况： | 标的名称:氧化钒溅射腔 标的数量X 主要功能或目标:处理氧化钒层的高精度沉积与图形化，具备高均匀性、高台阶覆盖率的工艺能力。目标是实现高可靠性、低缺陷的氧化钒功能层结构，特别是满足先进半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）对氧化钒薄膜的高精度加工需求，用于高性能半导体器件（如忆阻器、传感器、功率器件）的制造。 需满足的要求X、颗粒（>0.2μm）, 膜内 <=X ea（除正常晶圆外） 2、薄膜应力：应小于XMpa |
| 预计采购时间： | X-X |
| 备注： |
本X采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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