浙江省质量科学研究院低相干干涉内部三维形貌扫描系统验收公告

一、合同编号：XNX 二、合同名称：X质量科学研究院低相干干涉X合同             三、项目编号：ZJ-X 四、项目名称：X质量科学研究院低相干干涉X 五、合同主体              采购人（甲方）：X质量科学研究院  地 址：XXXX号  联系方式：X-X  供应商（X  地 址：宁XXX弄A2-7F  联系方式：X六、合同主要信息        服务内容：低相干内部三维形貌测量仪、低相干内部三维形貌测量X  服务要求：1、可对精密微小结构内部三维形貌进行扫描并X数据及对其直径、圆度、圆柱度、平行度、直线度、粗糙度等参数进行测量，并可对被测件表面损伤（如划痕、磨损等）进行表征；2、非接触式测量，测量时不接触被测物内表面；3、光源集成红色指示光，便于测量时定位测量位置；4X生成速率（最大值）：XkHz±5%5、测量重复性：≤3μm；6、含两个光学探针以及用于探针切换的光学转XX配合完成多种尺寸多类对象的三维形貌测量。探针1外径4.6mm，长度Xmm；探针2外径1.Xmm，长度Xmm；两个探针的出光方式均为侧面出光，且均含刚性外壳便于测试时的夹持及保护；7X：可同时驱动及控制运动轴数≥3，可兼容Newport、Aerotech等主流品牌运动导轨X配合完成形貌测量；8、含手持式操作杆，可便捷控制多个运动轴的运动，可调节各运动轴的运动速度，并含急停功能；9、Z轴直线导轨：有效行程Xmm,精度±5µm（保证值，典型值为±2.5µm）XXX及X配合完成自动化三维形貌测量；X、X轴直线导轨：有效行程Xmm,精度±1.5µm（保证值，典型值为±0.6µm）XXX及X配合完成自动化三维形貌测量；X、R轴转台：最大转速X°s（空载Xrpm），精度±1.Xmdeg（校准后,注：1arcsec≈0.Xmdeg）XXX及X配合完成自动化三维形貌测量；X、测量范围：（1）孔径（内径）范围2-6mm，可测量孔径深度Xmm（使用探针1，1.Xmm外径）；（2）孔径（内径）范围6-Xmm，可测量孔径深度Xmm（使用探针2，探针2长度Xmm，外径4.6mm，结合Z轴直线导轨行程Xmm，故可测量孔径深度为Xmm）；XX支持多类结X集、.STL、灰度图等类型结果；X、X：具有信号展示、扫描流程设置、A-SXN设置、运动控制、运动步长设置、回XX光强及滤波参数调节等功能并支持适用PolyWX处理X的自定义Macro程序方便功能扩展，可在测试X中X步设置测试流程并一键开始完成所有测试，扫描模式含螺旋扫描、圆形扫描、线性扫描等多种模式；XX：含X级X（承重不低于Xkg）、可调节固定支撑、高X（用于固定并提升运动轴、探针及其连接及调X组件高度以形成密X）、三爪卡盘及转接件（安装并固定于转台上用于夹持被测件）。  服务期限：合同签订生效后X日到货，由采购方组织实施质量验收。  服务地址：X、验收组成员（应当邀请服务对象参与）：郭钢祥,傅圆,葛祺炀,赵梓辰,卢歆九、验收意见：经质量验收，满足各技术指标要求，详见验收报告。十、其他补充事宜：X