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等离子增强原子级生长设备采购公告
采购与招标网 ,机械电子电器 上海 2026-07-28
项目编号：XCX
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大X因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购等离子增强原子级生长设备。
1、自X年1月1日起签署的成交合同需采用采购方提供的统一模板（货物类），合同模板可在报名后响应时在系统内预览，供应商提交响应材料即表明认可采用统一模板并已认真阅读其中的所有条款★★★。
2、所有响应供应商所提交的支撑材料均须加盖红色供应商公章（供应商公章为黑色复印件、加盖合同专用章等其他印章的均不予认可），否则视为无效材料。
3、如货物生产商与响应供应商不一致的，响应佐证材料可仅加盖响应供应商公章且保障售后服务能力。不得仅加盖生产商公章，否则不予认可并视为无效响应，可同时加盖生产商与响应供应商公章。
4、所有响应供应商如对于已发布的迅采公告中的技术参数、服务需求、公告附件中的内容有疑问的，请在响应前联系采购需求联系人进行充X的沟通和交流。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付或完成的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于除家具以外的货物类与服务类项目）
5、由于家具类项目较为特殊、如本项目为家具类项目，响应供应商原则上应当在响应前主动联系采购需求联系人，充X了解项目相关需求，必要时采购需求联系人可要求潜在供应商在响应前现场实地踏勘或测量等。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付并完成安装验收的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于家具类项目）
6、如本迅采项目需求文件中提到公告附件的，供应商需要先在采购管理系统中进行注册，注册成功并报名本项目后，可在本项目的响应界面查询并下载其公告附件。
7、若本项目需要采购的是仪器设备的，供应商所提交的仪器设备清单X集中采购目录内商品，若有则X单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。
8、若本项目需要采购的是仪器设备、软件等货物的，所采购的货物需均为国产货物，无进口货物。如供应商提交响应的货物包含有进口的，或原产地标注为境外的，视为无效响应，将被判定为未实质性响应。（无论该货物现在何处，需要经过海关清关结算的均判定为进口货物）。
9、供应商所有提交的响应材料均须为中文文件，若原为外文说明书等佐证材料的，供应商需要同时附上中文翻译件。如供应商仅提交外文响应文件的，该指标视为未实质性响应。
X、供应商所有提交的响应文件落款日期均须要在本项目公告期内，否则X单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。情节严重的将被认定为提前泄露项目信息并严肃处理。（若本项目非第一次公告的，响应文件落款日期以本公告为准，不得直接使用往期落款日期的响应文件）。
X、供应商响应时的响应操作、响应说明、加盖公章的附件证明须保持完全一致。
X、当供应商提供的所有响应材料针对同一事项存在不同结论的表述时，以最有利于采购方的表述条款为准。
X、本项目若由采购代理机构承办的，项目服务费需要由成交供应商直接向采购代理机构支付，计费依据与采购代理机构支付信息详见本公告下方内容。
一、供应商资质要求
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、在近三年内供应商或其单位负责人、拟委任的项目负责人无犯罪行为X站（***中不存在生效中的严重失信与经营异常情形、未被列入失信被执行人、重X(***信行为记录名单的供应商。
二、项目概况
| 采购内容/设备名称 | 参考品牌 | 规格配置 | 明细预算（人民币/X） | 采购数量 | 计量单位 | 总价 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 等离子增强原子级生长设备 | 工艺能力：配备不少于6路独立加热前驱体源及多路反应气体通道，支持多前驱体Super-cycle、子循环（Sub-cycle）等复杂ALD工艺。温度与真空性能：基片温度范围为室温～X ℃，控温精度≤±1 ℃；系统极限真空优于5×X⁻⁶ Torr，工艺压力连续可调。沉积质量：膜厚均匀性≤±1%（X nm Al₂O₃典型工艺），批间重复性≤±1%，满足高一致性薄膜制备需求。扩展与自动化：具备自动配方编辑、工艺数据记录和远程控制功能，预留原子层刻蚀（ALE）、臭氧源及真空互联等升级接口X扩展需求。 | X | 1 | 台 | X |
| 参数名称 | 是否需要附件证明 | 评X等级 | 参数说明 |
|---|---|---|---|
| 腔体 | 是 | 核心指标 | （1）腔体结构应满足侧流式双腔体同等或更高性能，以氧化铝工艺验证为例，单 cycle 时间 ≤ 5 s；（2）支持基板尺寸 ≥ 8 inch；（3）工艺腔体漏率 ≤ 5×X⁻⁷ Pa·L/s。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 加热系统 | 是 | 核心指标 | 内腔体采用加热方式应满足辐射加热同等或更高性能；最高工作温度 ≥ X ℃；温度控制精度 ≤ ±1 ℃。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 前驱体供给及加热系统 | 是 | 核心指标 | （1）前驱体源管路总数 ≥ 6路，其中可加热源数量 ≥ 2路且单瓶容积 ≥ X mL，常温源数量 ≥ 4路且单瓶容积 ≥ X mL；（2）源瓶及管路阀门加热方式应满足热辐射加热同等或更高性能，控温范围下限 ≤ 室温、上限 ≥ X ℃。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 真空系统 | 是 | 核心指标 | （1）真空泵应为防腐蚀型，抽速 ≥ X m³/h；（2）配备压力计总路数 ≥ 4路，流量计总路数 ≥ 2路；其中压力计须至少包含：工艺水脉冲高精度测量用真空薄膜规 ≥ 1路（量程上限 ≥ X mbar）；大气压测量用真空薄膜规 ≥ 1路（量程上限 ≥ X mbar）；真空互锁用压力计 ≥ 1路；热源脉冲压力高精度测量用真空薄膜规 ≥ 1路（量程上限 ≥ X mbar，适用于科研用户研发不同前驱体对压力监控的需要）。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 器件验证 | 是 | 核心指标 | 铟镓锌氧（IGZO）薄膜晶体管工艺迁移率 ≥ X cm²/(V·s)；工艺前后新增颗粒（直径 ≥ 0.2 μm）数量 ≤ 0.3个/cm²。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 主框架 | 是 | 非核心指标 | 框架材质应满足高强度铝合金同等或更高性能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 前驱体管路系统 | 是 | 非核心指标 | （1）每路源阀门配置应满足隔膜阀+手动阀双阀结构同等或更高性能，源瓶材质应满足不锈钢同等或更高性能；（2）前驱体源瓶在更换前后，均具备管路及阀门的自动清洗功能；（3）管路均采用 EP 级电抛光不锈钢材料，能避免被前躯体腐蚀。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 工艺气供给系统 | 是 | 非核心指标 | （1）工艺气管路材质应满足EP级电抛光不锈钢同等或更高性能，密封方式应满足VCR金属面密封同等或更高性能；（2）N₂ MFC路数 ≥ 2路，量程下限 ≤ 0 sccm、上限 ≥ X sccm，且为高精度型；（3）O₂流量控制方式应满足浮子流量计同等或更高性能；（4）水冷臭氧发生器浓度 ≥ X mg/m³@1 slm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
|---|---|---|
| 营业执照（三证合一） | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评X内容 |
|---|---|---|---|
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自X年1月起至今的同类货物的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售货物清单、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需X列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 供应商应在到货后X个日历日内，于采购人现场提供线下培训，培训人数 ≥ 2人，培训天数 ≥ 3天，供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起，最低要求质保期1年。 | 1年2年3年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 合同签订后支付XX，验收合格并签署验收报告后支付X% | |
| 交货期 | 是 | 在签订合同后X日内交货。 |
三、质量标准等要求（模板合同节选）
1、质量标准和要求
成交供应商所出售的标的物的质量标准按照国家标准、行业标准或制造厂家企业标准确定，上述标准不一致的，以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的，按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和上海市有关安全、环保、卫生之规定。
如果质量标准不统一的，应以采购方所选择的质量标准为依据。
2、包装要求
成交供应商所出售的全部货物均应按标准保护措施进行包装，这类包装应适应于远距离运输、防潮、防震、防锈和防野蛮装卸等要求，以确保货物安全无损地运抵指定现场。
每一个包装箱内应附一份详细装箱单、质量证书和保修保养证书。
3、验收
货物的数量不足或表面瑕疵采购方应在验收时当面提出，对质量问题之异议应在安装调试后七日内提出。
采购方可采取以下第（1）种方式对货物组织验收：
（1）采购方收货后根据货物的技术规格要求和质量标准，对货物进行检查验收，如果发现数量不足或有质量、技术等问题，成交供应商应负责按照采购方的要求采取补足、更换或退货等处理措施，并承担由此发生的一切损失和费用。验收合格后，采购方收取发票并签署验收意见。采购方在货物送达后无正当理由而拖延验收或不验收超过上述规定的验收期的，则视为其已验收通过。但对货物有质量保证期的，适用质量保证期之规定。
4、质量保证
成交供应商应保证所供货物是全新的、未使用过的，并完全符合合同规定的质量、规格和性能的要求。成交供应商应保证其货物在正确安装、正常使用和保养条件下，在其使用寿命期内应具有满意的性能。在货物最终交付验收后的质量保证期内，成交供应商应对由于设计、工艺或材料的缺陷而产生的故障负责。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点交货和提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延交货，采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金，或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中，如果成交供应商可能遇到妨碍按时交货和提供服务的情况时，应及时以书面形式将拖延的事实，可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后，应尽快对情况进行评价，并确定是否同意延长交货时间或延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部X的规定外，如果成交供应商没有按照合同规定的时间交货和提供服务，采购方应从货款中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法，赔偿费按每周赔偿迟交货物的交货价或延期服务的服务费用的百X之一（1%）计收，直至交货或提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百X之五（5%）。一周按七天计算，不足七天按一周计算。一旦达到误期赔偿的最高限额，采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和X包
除采购方事先书面同意外，成交供应商不得转让和X包其应履行的合同义务。
四、汇款信息与代理服务费收费标准
1、汇款信息
采购代理机构名X
采购代理机构开户银行（人民币）：建行上海市X行营业部
账号（人民币）X
户X
2、代理服务费收费标准
1）本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2）成交代理服务费：参照计价格【X】X号文收费标准为基础，再以X.X折计取（不低于X.XX人民币）。
上海大学
X-X-X
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会员办理咨询:400-006-6655转1。
业务咨询:400-006-6655转1。
入会咨询:400-006-6655转1。
客户服务:400-006-6655转7。
发布信息:400-006-6655转2。
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