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等离子磁控镀膜仪
采购与招标网 ,科技文教旅游 湖南 2026-07-03
中南大学 - 竞价公告 (CBX)
发布时间X-X-X XXX 截止时间X-X-X XXX
基本信息：
采购明细：
| 序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
|---|
| 1 | 等离子磁控镀膜仪 | 1(套) | 合肥科晶 | VTC-2RF | 非标定制，负责实验室气路的连接和改造选配X.真空泵抽真空接口XKFX 接口，真空泵型号X-X，抽气速率X.4 L/S，电机功率X W，极限压强X×X-1Pa（不带负载）2.水冷设备：工作电流X.4-2.1A，制冷量X/h，尺寸X×X×Xcm（长×宽×高），水箱容量X，水流速率X/min基本参数X.电源X XV XHZ，2.功率：＜XW3.射频电源：输入电源X 3A，输出功率X-XW，输出频率X.X MHZ4.冷却方式：设备内部的冷却方式为水冷5.尺寸X（长）*X（宽）*X（高）6.磁控溅射头： 2 英寸磁控溅射头（带有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连接7.靶材尺寸要求： φX*（0.1-5）mm 厚8.2英寸磁控溅射头可承受最大射频功率X.非标定制高温加热台结构，溅射靶头到加热台距离可精确调节范围X-Xmm，并带有距离刻度显示。样品台X.加热台可旋转，为了制膜更加均匀。2.加热台尺寸：直径 Xmm （最大可放置 2 英寸的基片）3.旋转速度X- X rpm（可调速）4.加热台的长期使用温度 X℃5.控温精度： ±X℃ | 按行X师上门安装调试和测试。2、为了保证售后服务，投标方中标后需提供原厂售后服务承诺书原件，否则视同无效； 3、为保证使用要求，投标设备品牌、型号、规格配置、技术要求须与此项目申购内容完全一致 |
严X授权，严禁以任何形X数据，一经发现，依法追究法律责任。
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