CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）(二次招标)招标公告

1.招标条件 

本招标项目CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）(二次招标),招标人为CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）(二次招标)进行公开招标。

2.项目概况与招标范围 

项目概况与招标范围：CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD） X台 

招标编号：X-X-X

包名称：CVD刻蚀终点检测设备（简称EPD）(二次招标)

数量：X台

简要技术要求：1)适用于G8.6 PECVD（等离子增强型化学气相沉积）设备、薄膜刻蚀清洁过程 2)适用于SiNx、a-Si、SIO、SiON等含硅薄膜刻蚀过程 3)适用于有RF辅助、无RF辅助的薄膜刻蚀过程 

3.投标人资格要求 

3.1 投标人资格要求：一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与买方签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2 本次招标：不接受联合体投标。

3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取 

4.1 获取时间：X年X月X日XX至X年X月X日XX

4.2 获取X（***

4.3 招标文件价格：X.XX或X.X（美X） ，售后不退。

5. 投标文件的递交及开标

5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）：X年X月X日XX

5.2 递交方式：电子文件递交到电X

5.3 开标方式：通过电X开标

5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电X将予以拒收。

6. 联系方式

招标人：X class="bookmark" contenteditable="false" editype="text" name="xmxx_zbrmc" style="display: inline" value="项目信息.采购招标人名X

地址：Xeditable="false" editype="text" name="xmxx_zbrdz" style="display: inline" value="项目信息.招标人地址">厦门火炬高新区(翔安)产业区翔安西路X号

联系人：X class="bookmark" contenteditable="false" editype="text" name="xmxx_zbrlxrmc" style="display: inline" value="项目信息.招标人联系人姓名">陈彩玲（含异议受理）

联系方式：X-X-X

电子邮件：caX/span>

招标代理机构：X 

地址：Xeditable="false" editype="text" name="xmxx_dljgzwdz" style="display: inline" value="项目信息.招标代理机构地址">北京市朝阳区慧忠路5XB座X层

联系人：X class="bookmark" contenteditable="false" editype="text" name="xmxx_lxr" style="display: inline" value="项目信息.项目联系人">赵溪

联系方式：X-X

电子邮件：日期 X-X-X