招标公告

1. 招标条件

本招标项目DUV配套涂胶显X公司第四十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为X%。该项目已具备招标条件，现对DUV配套涂胶显影机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKXXAX

2.2 招标项目名称：DUV配套涂胶显影机。

2.3数量: 1套

2.4 主要内容：DUV配套涂胶显影机要求为国产全新设备，用于6英寸InP基InGaAs APD焦平面探测器光刻工艺，为DUV光刻机的X工艺设备，用于完成光刻曝光前的晶圆增粘处理（HMDS）、光刻胶旋涂（Coat）、软烘（SOB）、曝光后烘烤（PEB）、显影（Develop）、坚膜烘烤（Hard Bake）及冷却（Chill）等全流程工艺。设备须支持 Cassette-to-Cassette 全自动运行，可处理厚度X-Xμm，翘曲度±Xμm的晶圆，并与ASML光刻机PASX XC型光刻机实现联机作业（Inline），确保光刻胶图形的高精度转移。具体要求详见招标文件第五章供货要求。

2.5 交货地址：X。

2.6 交货期：合同生效后X天内。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内X的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人须提供X年X月X日至今已签订的本次投标同型号或同系列的设备销售业绩≥5台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3本项目不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构X并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于X年X月X日至X年X月X日X时(北京时间)，XXX址：Xwww.X.cn,X操作咨询电话X-X）XXpan>

4.2XXX（从XX标书款电子发票），售后不退。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为X年X月X日09时XX，地点为。招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国X和X发布。

7. 监督部门

本招标项目的监督部门X法务与风控审计部。

8. 联系方式

X公司第四十四研究所

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电话： X-X

招标代理机构：中科信X

地址：Xspan>售卖联系人：X/span>

电话：X-X

项目负责人：Xpan>Xp>