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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年09月至2026年10月政府采购意向
采购与招标网 ,机械电子电器,科技文教旅游 广东 2026-09-21
招标代理公司（ 立即查看 ）受业主单位（ 立即查看 ）委托，于在采购与招标网发布 广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年09月至2026年10月政府采购意向 现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。
&nbsX采购信X采购意向公开工作的通知》（财库〔X〕X号）等有关规定，现将本单位X年X月至X年X月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(X) | 预计采购时间 | 备注 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| X | 金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD） |
标的名称：金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）
标的数量X
主要功能或目标：用于Ⅲ‑N 族化合物半导体外延薄膜生长，可实现GaN 基等外延片制备，可精准控制薄膜厚度、组X与掺杂，保障外延片晶体质量、片内 / 片间均匀性，满足半导体器件的研发与中试生产。
需满足的要求：1.设备支持8英寸衬底生长，单炉可载5片； 2.设备包含反应腔体、MO源X、高精度气XX、尾气处理、原位生长监控能力； 3X、原位氯气清洁的功能。
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落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、X农副产品等政策情况 | X,X,X.X | X年X月 |
本X采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
X年X月X日
X
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