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暨南大学 - 竞价公告 (CRX)

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硅基薄膜铌酸锂硅片

新硅聚合/晶正

LNOI

Xnm X-cut铌酸锂薄膜，4.7umSIO2层，handle 硅层。要求①smartcut制备；②晶圆表面粗糙度≤2nm；③TTV小于Xum；④薄膜厚度均匀性3%以内

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