1、招标条件
项目概况:名称:深硅刻蚀机数量X台原理及用途:基本原理:把射频能量通过顶部线圈感应产生的磁场耦合到腔体内,交变磁场在真空环境中使气体电离而形成等离子,底部射频产生直流偏压,顶部射频控制离子浓度而底部射频控制离子能量,加速离子到达硅片表面产生物理和化学的刻蚀反应。用途:本设备主要用于MEMS产品中各种硅槽刻蚀。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号X-XSUMECAX/X
招标项目名称:深硅刻蚀机
项目实施地址:Xr/>3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。②投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。③投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的
资信证明原件或该原件的复印件。④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺书格式自拟)。⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间X-X-X
招标文件领购结束时间X-X-X
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地址:苏美达大厦9楼西侧(南京市长江路X号)
招标文件售价:¥X/$X
其他说明:每天9X—XX,XX—XX(北京时间,节假日除外)不购买招标文件的不得参Xcn。
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间)X-X-X XX
投标文件送达地址:X埠市龙子湖区凤安东路X号
6、联系方式
X
地址:X系方式X
招标代理机构X
地址:南京长江路X号9楼
联系人:X志云/周 翠
联系方式X、X-X
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美X):
账号(人民币):
账号(美X):
附件1:包6招标商品信息表模板.xls
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