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台阶仪
采购与招标网 ,化工 上海 2026-11-04
发布时间：X-X-X X:X:X 截止时间：X-X-X X:X:X
基本信息：
采购明细：
序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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X | 台阶仪 | X(套) | KLA Corporation | Tencor P-7 Stylus Profiler | 配置： P-7探针式轮廓仪：主机；一个2um X°探针；测量头；电动θ台；1个Xnm标准样品；2D，3D测量、应力X析、3D轮廓测量、Apex 3D X安装调试；售后服务；辅助备件：气震台、真空泵、1根2um X°探针、1个Xnm标准样品、电脑桌。关键指标：1.可量测膜厚范围 4nm-Xum 2.膜厚测量范围 Xmm 3.膜厚测量重复性 4Å (台阶 ≤ 1μm) 0.X%(台阶 > 1μm) 重要指标： 1.横向X辨率2D:0.Xμm; 3D:0.5μm 2.垂直X辨率 0.X / 0.X / 0.XÅ(低/中/高量程) 3.扫描平X度 0.5mm 扫描下平坦度XXÅ 2mm 扫描下平坦度XXÅ Xmm 扫描下平坦度XXÅ Xmm 扫描下平坦度XXÅ Xmm 扫描下平坦度XXÅ | 按行业标准提供服务，关键配件要有库存，机台出现问题一周内解决。 |
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