紫外光刻机

申购单编号: X

申购单主题: 紫外光刻机

申购具体单位: X

申购单位: 中山大学

商品名称: 紫外光刻机

型号: URE-X/X

品牌: 中科院光电所

数量: 2.0

规格: 1.曝光面积X英寸； 2.曝光波长X； 3.对准精度Xμm； 4.掩模样片X体运动范围XX；YX； ★5.掩模尺寸X.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸； ★6.样片尺寸：直径Xmm-- Xmm，可适应厚度0.1mm--6mm； 7.曝光方式：定时（倒计时方式）； ★8.双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数X倍，光学+电子放大X倍，物镜三对X倍、X倍、X倍，目镜三对X倍、X倍、X倍； ★9.汞灯功率X（直流）。

售后服务: 所有交付货物均为原厂全新正品，随附合格证/出厂检测报告，机身序列号可通过官方渠道溯源查验，到货核验若存在包装破损、参数不符、非全新、非正品原装等问题，供方须在3个工作日内免费更换全新货物并承担全部相关费用；货物需配送至指定点位并放置在指定位置，到货后3X师到场完成安装调试，供需双方依次完成到货开箱核验、安装调试验收X师现场提供设备操作、日常维护及基础故障排查培训，确保不少于2名参训人员可独立完成常规操作并交付全套操作维护资料；供方提供至少两次免费现场服务，首次为设备到货后的安装、调试与验收服务，第二次为设备迁至新实验场地时的搬迁、安装与调试服务；X机质保期3年，自最终验收合格之日起计算，质保期内售后故障2-4小时内上门响应，非人为损坏的X部件免费更换，免收上门费与工时费，每年提供1次免费上门巡检校准并出具设备状态检测报告。

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