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4英寸单面光刻机竞价公告
采购与招标网 ,网络通讯计算机 湖南 2025-10-29
| 项目名称 | 4英寸单面光刻机 | 项目编号 | J-X |
| 项目编号 | J-X | ||
| 公告发布日期 | X/X/X XX | 公告截止日期 | X/X/X XX |
| 公告截止日期 | X/X/X XX | ||
| 采购单位 | 湖南大学 | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 采购预算 | 未公开 | 币种 | RMB |
| 币种 | RMB | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后 X 天内到货 | ||
| 送货/施工/服务地址 | 两山一湖中四栋 | ||
| 售后服务 | 按行业标准执行 | ||
| 付款条款 | 国产设备X.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（0）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额X%发票；2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在X个工作日内支付合同总金额的（X）%；3.在验收合格之日起的（1）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。 | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 数量单位 | |||
| 4英寸单面光刻机 | 1(台) | |||
| 参考品牌及型号 | 鸿源鼎芯/HX-X型 | |||
| 技术参数要求 | 一、配置参数： 1．曝光类型：单面曝光； 2．曝光面积X×Xmm； 3．曝光照度不均匀性：≤3%； 4．曝光强度X-Xmw/cm2可调； 5．紫外光束X：≤2°； 6X波长X： 7．紫外光源寿命：≥2X小时； 8．曝光X辨率Xμm； 9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； X．显微镜扫描范围： Y：±Xmm； X．对准范围X、Y±5mm（移动精度0.5um），Q细调±5°（移动精度0.X°）粗调±X° X．对准精度：正面1μm； X．X离量；0～Xμm可调； X．接触－X离漂移：≤1μm； X．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光； X．找平方式：气悬浮自动找平； X．显微系统：视场CCD系统，显微镜XX～XX连续变倍（物镜1.1X～7.5X 连续变倍），双物镜距离可调范围Xmm～Xmm，扫描范围Y±XmmX±Xmm，计算机图像处理对位软件，X″液晶监视器； X．掩模版尺寸X″×3″、4″×4″、5″×5″； X．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″； X．基片厚度X.1～6mm； X．曝光定时X～X.9秒可调； X．对准方式：千X尺X（精度0.1um） X．镜头移动：电动； X. 升降方式：电动（伺服） X. 电源：单相ACXV XHZ ，功耗≤1KW； X．洁净空气压力：≥0.4MPa； X．真空度：-0.XMPa~-0.XMPa； X．尺寸： Xmm（长）×Xmm（宽）×Xmm（高）。 二．配置清单：本机由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。 1．曝光头： LED紫外曝光头一台。 2．CCD显微显示系统： 1）CCD数码摄像机二只； 2）可变倍显微镜二只； 3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、X″液晶监视器一台、图像处理对位软件一套）。 4）焦距、物距调节台一套； 5）扫描机构一套（电动）； 6）LED同轴照明光源二台。 3．对准工作台； 1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件； 2）φ2″、φ3″、φ4″、承片台各一件； 3）气悬浮自动找平机构一套； 4）高X一套； 5）高精度伺服升降装置一套; 4．电气控制台： 1）PLC可编程控制器一台； 2）电磁阀及控制系统一套； 3）气动、真空仪表一套。 5．备附件： 1）真空软管（φ8mm）Xm； 2）电磁阀二只； 3）紫外光强计一只； 4）无油静音真空泵一台； 5）无油静音空压机一台。 6．技术资料： 1）使用说明书； | |||
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