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深圳大学 - 竞价公告 (CF105902024000591)
采购与招标网 ,机械电子电器 黑龙江 2024-05-23
招标代理公司（ 立即查看 ）受业主单位（ 立即查看 ）委托，于在采购与招标网发布
深圳大学 - 竞价公告 (CF105902024000591)
现邀请全国供应商参与投标，有意向的单位请及时联系项目联系人参与投标。
发布时间X-X-X XXX 截止时间X-X-X XXX
基本信息：
采购明细：
序号 | 项目名称 | 数量/单位 | 预算价 | 项目内容 | 质保及售后服务 | 附件 |
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1 | 光刻工艺服务 | 1 | X |
1. 需按照深大提供的GDS文件进行光刻工艺服务
2.需采用无掩膜紫外光刻机进行加工
3.工艺需求参数：
a. 需采用X LED光源对样品做光刻工艺，光刻速率需≥3 mm2/min，
b.等间距线宽≤1 um，特征尺寸≤X nm：
c. 样品厚度：≥8 mm，样品尺寸：≥X mm
d. 套刻精度≤ Xnm (5mm*5mm)
4.显影服务：根据图纸文件，对提供的样品进行显影，.MIF 显影液X.X%TMAH；
5.3D检测：显微镜下的光学检测，需清晰可见提供的光刻胶的厚度、陡直度以及3D形貌。
6.以上所有测试，供应商需提供工艺相关的技术文档、设计规则文件和技术服务。
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按行业标准提供服务
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