江苏大学场发射扫描电子显微镜采购信息公示

序号

货物名称

是否为进口设备

单位

数量

是否属核心产品

1

场发射扫描电子显微镜

是

台/套

1

是

2

3

序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

1

电子光学系统

重要

1.1电子枪类型：场发射电子枪；

★1.2X辨率：≤0.7nm@1kV(SE)，WD≥1.0mm；

1.3放大倍率范围：X-1,X,X倍或者更宽；

1.4加速电压/着X电压：0.XkV-XkV或者更宽，步进XV，加速电压连续可调；

1.5 电子束流：最大束流不小于XnA

1.6配备样品台减速模式；

1.7样品通用性好，可对磁性材料进行高X辨成像，低电压下可直接对易损伤的不导电样品进行高X辨成像；

#1.8物镜光阑：物镜光阑孔数量≥4，光阑具有自加热清洁功能；

1.9 信号增强功能：电子光学系统内具有双向电磁效应，以增强信号接收功能；

1.X电子枪可以实现随时关闭，不需要X小时持续通电保持；

关键参数

2

探测器

重要

2.1信号检测系统：具备独立接收二次电子、背散射电子信息功能，同时也能够实现任意比例的二次电子信息和背散射信息混合功能，也可以混合不同探头信息；

2.2配置样品室内置式导航相机，方便导航观察位置；

2.3配置扫描透射探测器（STEM）；

关键参数

3

样品室

重要

★3.1样品交换仓：不小于Xmm直径的样品交换仓；

#3.2具有非接触防碰撞功能；

3.3配备高精X全自动马达样品台，移动范围不小于：X：0-Xmm，Y：0-Xmm，Z：1.5-Xmm，R：X°（旋转）；样品台双向倾斜，倾斜范围不小于-5°至 +X°；

3.4配置马达台快捷控制器或轨迹球，多功能旋钮操作控制面板；

3.5预留能谱仪等常用附件接口和软件通讯接口；

关键参数

4

真空系统

重要

4.1样品室真空达X^-4 Pa量级，电子枪真空达X^-7 Pa量级，样品室日常抽到X^-4Pa所需时间小于Xs；

#4.2真空系统，具备机械泵、X子泵、离子泵、化学吸收泵四级真空系统；

4.3全自动真空系统，完全气动阀自动控制。

关键参数

5

图像软件功能

重要

#5.1单张图片最大存储X辨率不小于X×X像素；

5.3 图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG；

5.4 具有漂移校X点功能；

5.5 所有扫描速度下均可进行像素平均，获得高质量图片；配有高级测量软件，倾斜校正；具有不少于X种扫描方式；

5.6齐全的软件功能，包括电镜操作、图像处理、测量、编辑等；

5.7 自动调X功能：具有自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动漂移校正，兼有手动调X功能；

5.8配套计算机：四核处理器及以上CPU，固态硬盘，工作站x2， 4G 显存，X寸液晶显示器x2，Windows 操作系统，安装最高版本的全套控制和数据处理应用软件；

关键参数

6

能谱仪

重要

★6.1探测器X析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积Xmm²，高X子超薄窗。

6.2封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。

6.3重X素能量X辨率：Mn Ka保证优于XeV（计数率X,Xcps）；保证符合ISO XX标准。

6.4轻X素能量X辨率：F Ka 保证优于XeV（计数率X,Xcps）；能量X辨率: C Ka 保证优于XeV（计数率X,Xcps）；保证符合ISO XX标准。

6.5X素X析范围: Be4～CfX。

6.6探测器可软件控制，自动伸缩。

6.7具备X素spectrum Live实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程。

6.8在谱图实时采集时，动态显示MinQuant的定量X析结果，以含量、原子比或氧化物百X比呈现。

6.9具备X素面X布Live实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，Mapping的动态变化过程。具备X峰修正功能, 开机后无需重新修正峰位。

6.X具有实时谱图比对功能。

#6.X线扫描X析每条线可包含高达X点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

6.X定量X析：采用XPP定量修正技术。

6.X具有完备的5KV和XKV两个无标定量数据库。

6.X采用X4脉冲与图像处理器，具备多探头控制能力，最多可同时控制和处理4个能谱检测器。

7

附件及配套设备

重要

★7.1配置不少于X年的灯丝耗材寿命，包含更换时的人工费（参考冷场≥2套，热场≥5套）；

7.2标准样品台，特殊样品台一套；

7.4机械泵、冷却循环水装置、空压机一套

7.5低噪音UPS（2小时续航能力）；

7.6碳导电胶带2卷；

7.7其他保证仪器长期正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品；

关键参数